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講一講微流控芯片刻蝕過(guò)程相關(guān)注意事項

更新時(shí)間:2022-05-23  |  點(diǎn)擊率:942
   微流控芯片是一種以在微納米尺度空間中對流體進(jìn)行操控為主要特征的科學(xué)技術(shù),具有將生物、化學(xué)等實(shí)驗室的基本功能諸如樣品制備、反應、分離和檢測等縮微到一個(gè)幾平方厘米芯片上的能力,其基本特征和優(yōu)勢是多種單元技術(shù)在整體可控的微小平臺上靈活組合、規模集成。作為一種微全分析技術(shù)平臺可以應用于各個(gè)分析領(lǐng)域,如生化醫療診斷、食品和商品檢驗、環(huán)境監測、刑事科學(xué)、軍事科學(xué)和航天科學(xué)等重要應用領(lǐng)域,其中生物醫學(xué)分析是熱點(diǎn)。
  由于微流控芯片的構件尺寸和細胞吻合,并可同時(shí)測定物理量、化學(xué)量和生物量,它已成為對哺乳動(dòng)物細胞及其微環(huán)境進(jìn)行操控的*潛力的平臺,可以用于仿生實(shí)驗室。目前已可以構建微米量級且相對封閉的三維細胞培養、分選、裂解等操作單元,并把這些單元成功延伸到組織和器官。器官芯片是一種更接近仿生體系的模式,可在一塊幾平方厘米的芯片中培養各種活體細胞,形成組織器官,乃至由不同器官芯片進(jìn)一步組成活體芯片,從而模擬一個(gè)活體的行為并研究活體中整體和局部的種種關(guān)系。在藥學(xué)領(lǐng)域,器官芯片將被部分替代小白鼠等模型動(dòng)物,用于驗證候選藥物,開(kāi)展毒理和藥理作用研究。
  微流控芯片刻蝕過(guò)程相關(guān)注意事項:
  光刻板制好后就可以進(jìn)行常規的光刻刻蝕工藝了,一般做微流控芯片的刻蝕深度都比較深,有時(shí)候可能需要先做一層硬掩模,厚度與刻蝕深度相關(guān)??涛g的時(shí)候一般選擇等離子體刻蝕進(jìn)行加工,對于不同的材料選擇不同的氣源。等離子體刻蝕是一種以化學(xué)反應為主的干法刻蝕工藝,刻蝕氣體分子在高頻電場(chǎng)作用下,產(chǎn)生等離子體。等離子體中的游離基化學(xué)性質(zhì)十分活潑,利用它和被刻蝕材料之間的化學(xué)反應,達到刻蝕芯片的目的。
 

微流控芯片